Phường Xuân Đỉnh được hình thành trên cơ sở nhập phần lớn diện tích tự nhiên và dân số của các phường: Xuân Tảo, Xuân Đỉnh (thuộc quận Bắc Từ Liêm), Xuân La (thuộc quận Tây Hồ); một phần diện tích tự nhiên và dân số của phường Cổ Nhuế 1 (thuộc quận Bắc Từ Liêm).
Phường Thượng Cát được hình thành trên cơ sở nhập toàn bộ diện tích tự nhiên và dân số của các phường: Thượng Cát, Liên Mạc (quận Bắc Từ Liêm); phần lớn diện tích tự nhiên và dân số của phường Thụy Phương (quận Bắc Từ Liêm); một phần diện tích tự nhiên và dân số của các phường: Cổ Nhuế 2, Minh Khai, Tây Tựu (quận Bắc Từ Liêm).
Phường Tây Tựu được hình thành trên cơ sở nhập phần lớn diện tích tự nhiên và dân số của các phường: Tây Tựu, Minh Khai (thuộc quận Bắc Từ Liêm); một phần diện tích tự nhiên của xã Kim Chung (thuộc huyện Hoài Đức).